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沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响

高晓明 , 孙嘉奕 , 胡明 , 翁立军 , 伏彦龙 , 杨军 , 谭洪根

机械工程材料

采用多弧离子镀方法在低温(166 K)、室温(300 K)以及不同氩气压力(0.2~0.8 Pa)条件下沉积钛薄膜,通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究.结果表明:不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构;在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相,因而具有较高的显微硬度,同时还表现出良好的膜基结合性能,比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层,以改善其膜基结合性能和承载能力.

关键词: 低温沉积 , 钛薄膜 , 物相结构 , 性能

低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

高晓明 , 孙嘉奕 , 胡明 , 翁立军 , 伏彦龙 , 杨军 , 谭洪根 , 张良俊

机械工程材料

采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较.结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能.

关键词: 低温沉积 , 银铜薄膜 , 耐原子氧性能

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